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  • 新一代曝光光刻機UV KUB 3

  • UV KUB 3 是一款集成式桌面型紫外曝光光刻機,其 采用 365nm 紫外 LED 冷光源以及高精密光學準直系 統,可實現 1um 的光刻精度和小于 2°的發散角。UV KUB 3采用開放式樣品盤,可以進行不同模式的曝光 光刻,如軟接觸或硬接觸模式;同時配備了高精密 的位移臺,輔以雙 CCD 成像系統,可在 5 分鐘內實 現 1um 的對位精度。
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新一代曝光光刻機UV KUB 3


UV KUB 3 是一款集成式桌面型紫外曝光光刻機,其 采用 365nm 紫外 LED 冷光源以及高精密光學準直系 統,可實現 1um 的光刻精度和小于 2°的發散角。UV KUB 3采用開放式樣品盤,可以進行不同模式的曝光 光刻,如軟接觸或硬接觸模式;同時配備了高精密 的位移臺,輔以雙 CCD 成像系統,可在 5 分鐘內實 現 1um 的對位精度。

特色


  • UV LED 光源
  • 設計緊湊,操作簡單
  • 高精度 365nm +/- 5nm 單色光光源
  • 可進行軟接觸和硬接觸曝光光刻(含
  • 壓力測量傳感器)
  • 兼容目前市場上的全部光刻膠
  • 分辨率: < 1µm
  • 手柄自動巡航對位,對位精度: 1µm

 

主要性能


  • 365nm 單色 LED 光源,帶寬小于 10nm
  • 圖像輔助的自動巡航 PAD 操作對準定位系統
  • 采用高光強 LED 冷光源,避免光源發熱引起的溫度
  • 變化干擾,提高光刻面均勻性;
  • 光源壽命大于 10000 小時,減少維護及使用成本;
  • 可調節 UV 光強
  • 友好的觸摸屏操作界面,可編程光刻工藝;
  • 無需預熱,快速開始進入工作狀態;
  • 全封閉紫外曝光區域,保障操作人員的安全;
  • 半自動晶圓上下料系統
  • 低功耗,節能環保

 

性能指標


  • 最小光刻尺寸 1µm
  • 對位精度 1µm
  • 紫外光源波長 365nm +/- 5nm
  • 光源光強 35mW/cm² +/- 10%
  • 光刻區域工作溫度變化 < 1°C
  • 工藝時間 (連續/非連續模式) From 1s to 1h
  • 可保存光刻工藝數量 無限制
  • 外形尺寸 475x480x515mm
  • 總重量 55kg / 121lbs
  • 觸摸屏尺寸 15.6” diagonal,color
  • 供電電源 100V/240V –
  • 50Hz/60Hz
  • 功耗 180 Watts
  • 2020-UVKUB3-product-sheetCN.pdf

    大小:
    2021-05-28 14:24:53
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